Analyse morphologique de films CrN. Corrélation entre contrainte résiduelle et résistivité de films de chrome
Communication avec acte
Date
2008Abstract
Les films minces de nitrure de chrome ont sensiblement attiré l'attention, ces dernières années. Attrait du à leurs excellentes propriétés physiques, chimiques et mécaniques. Une partie de cette étude a porté sur la caractérisation morphologique de couches minces dures de nitrure de chrome (Cr-N), élaborées par PVD sur substrats de silicium (100) par pulvérisation magnétron. Nous avons considéré l'influence de la température de recuit sur l'adhérence et la stabilité thermique de ces films. Nous avons procédé à des caractérisations en microscopie électronique à balayage (MEB) équipé en microanalyse X (EDX).Des recuits d'une heure, entre 600°C et 1000°C sous azote N2, effectués sur des revêtements CrN,de différentes épaisseurs entre 0.5 et 1µm, ont montré la stabilité thermique de ces revêtements aux basses températures. Les résultats obtenus en MEB et EDX sont comparés aux résultats en DRX. Cette étude porte aussi sur des dépôts de couches de chrome élaborés par pulvérisation RF cathodique (PVD). L'analyse des contraintes résiduelles par le dispositif des anneaux de Newton, pour différentes épaisseurs, montre l'existence d'un pic de contraintes entre 170 et 200 nm. La méthode des quatre pointes a été utilisée pour déterminer la résistivité des couches de chrome. La résistivité décroît fortement pour les petites épaisseurs (< 100nm), pour ensuite se stabiliser à une valeur moyenne de 30µ.Ohm.cm. Une corrélation entre l'évolution des contraintes et de la résistivité nous a permis de faire un essai d'interprétation sur la croissance des films.
Files in this item
Collections
Related items
Showing items related by title, author, creator and subject.
-
Article dans une revue avec comité de lectureBENLATRECHE, Yacine; RAHIL, Issam; MARCHAL, Rémy; CHEKOUR, Lounis; NOUVEAU, Corinne (Wiley-VCH Verlag, 2009)Recently, several studies have shown that the addition of a secondary element likes Al, Si, etc. to nitride and carbide binary systems such as Ti–N and Cr–N improved their structural and mechanical properties and also their ...
-
Communication avec acteBENLATRECHE, Yacine; CHEKOUR, Lounis; LABIDI, Chafik; NOUVEAU, Corinne (Société de Chimie Industrielle, 2006)Cette étude porte sur des dépôts de couches minces dures de chrome et de nitrures de chrome élaborées par PVD et leur caractérisation. Des films de chrome ont été préparés par pulvérisation cathodique RF. L’influence de ...
-
Article dans une revue avec comité de lectureSAIED, Chahinez; CHALA, Abdelouahad; DJOUADI, Mohamed Abdou; CHEKOUR, Lounis; NOUVEAU, Corinne (Wiley-VCH Verlag, 2007)The excellent mechanical properties of chrome-vanadium low alloy steel usually obviate the need for expensive quench and tempering operations. Furthermore, the presence of a significant amount of nitride phases has generated ...
-
Article dans une revue avec comité de lectureLABIDI, Chafik; BENLATRECHE, Yacine; DJOUADI, Mohamed Abdou; NOUVEAU, Corinne; COLLET, Robert (Elsevier, 2009)The aim of this study is first to define the effect of a surface finishing such as sand-blasting on the geometry of a wood cutting tool and its wear resistance. In addition, the effectiveness of surface coatings like CrAlN ...
-
Article dans une revue avec comité de lectureGHRIB, Taher; TLILI, Brahim; BENLATRECHE, Yacine; LAMBERTIN, Michel; YACOUBI, Noureddine; ENNASRI, M.; NOUVEAU, Corinne (Elsevier, 2009)The thin film of chromium nitride and their derivatives obtained by the filing process physical vapor deposition attract more and more attention from industry given their high resistance to wear. This quality of these ...