Correlation between mechanical and microstructural properties of molybdenum nitride thin films deposited on silicon by reactive RF magnetron discharge

Dépôt DSpace/Manakin

Fichier(s) constituant cette publication

 

Cette publication figure dans le(les) laboratoire(s) suivant(s)

Recherche


Nombre de documents dans SAM

  • 2855 documents

Lettre Diffuser la Science

Mon compte

Rapport d'activité

Aide