Mesures des propriétés thermiques d’un dépôt submicrométrique d’Al2O3 amorphe déposé par ALD
dc.contributor.author
hal.structure.identifier | SCHICK, Vincent
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dc.contributor.author | CAPPELLA, Andrea |
dc.contributor.author
hal.structure.identifier | BATTAGLIA, Jean-Luc
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dc.contributor.author
hal.structure.identifier | KUSIAK, Andrzej
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dc.contributor.author | WIEMER, Claudia |
dc.contributor.author | LAMAGNA, Luca |
dc.date.accessioned | 2012 |
dc.date.available | 2012 |
dc.date.issued | 2012 |
dc.identifier.other | http://www.sft.asso.fr/document.php?pagendx=12286&project=sft |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10985/6620 |
dc.description.abstract | L’oxyde d’aluminium Al2O3 amorphe, est un bon isolant thermique et électrique. L’industrie microélectronique s’intéresse à ce matériau pour développer de nouveaux diélectriques de haute pureté aux échelles submicrométriques. Elle cherche ainsi à déterminer précisément ses propriétés thermiques sur une large plage de température. Des mesures de conductivité sont donc réalisées ici sur des échantillons d’Al2O3 déposé par ALD de 150 à 400 nm d’épaisseur. Ces essais sont réalisés entre 20 et 600°C et sont complétés par des caractérisations physico-chimiques afin de vérifier l’évolution de la structure du matériau au cour de l’expérience. |
dc.publisher | Société Française de Thermique / Congrès Français de Thermique - Thermique en conditions extrêmes, 29 mai - 1er juin 2012, Bordeaux |
dc.rights | Post-print |
dc.title | Mesures des propriétés thermiques d’un dépôt submicrométrique d’Al2O3 amorphe déposé par ALD |
dc.typdoc | Communication avec acte |
dc.localisation | Centre de Bordeaux-Talence |
dc.subject.hal | Sciences de l'ingénieur: Mécanique Thermique |
hal.status | unsent |