Estimation of the electron beam-induced specimen heating and the emitted X-rays spatial resolution by Kossel microdiffraction in a scanning electron microscope

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dc.contributor.author BOUSCAUD, Denis
ensam.hal.laboratories
  178323 Laboratoire d'Etude des Microstructures et de Mécanique des Matériaux [LEM3]
dc.contributor.author PESCI, Raphaël
ensam.hal.laboratories
  178323 Laboratoire d'Etude des Microstructures et de Mécanique des Matériaux [LEM3]
dc.contributor.author BERVEILLER, Sophie
ensam.hal.laboratories
  178323 Laboratoire d'Etude des Microstructures et de Mécanique des Matériaux [LEM3]
dc.contributor.author PATOOR, Etienne
ensam.hal.laboratories
  178323 Laboratoire d'Etude des Microstructures et de Mécanique des Matériaux [LEM3]
dc.date.accessioned 2014-02-25T15:25:51Z
dc.date.available 2014-02-25T15:25:51Z
dc.date.issued 2012
dc.date.submitted 2014-02-19T13:58:40Z
dc.identifier.issn 0304-3991
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10985/7800
dc.description Lien vers la version éditeur: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304399112000307 en_US
dc.description.abstract A Kossel microdiffraction experimental setup has been developed inside a Scanning Electron Micro-scope for crystallographic orientation, strain and stress determination at a micrometer scale. This paper reports an estimation of copper and germanium specimens heating due to the electron beam bombardment. The temperature rise is calculated from precise lattice parameters measurement considering different currents induced in the specimens. The spatial resolution of the technique is then deduced. en_US
dc.language.iso en en_US
dc.publisher Elsevier en_US
dc.rights Post-print en_US
dc.subject Kossel microdiffraction en_US
dc.subject Scanning electron microscope en_US
dc.subject Lattice parameter en_US
dc.subject Specimen heating en_US
dc.subject X-rays spatial resolution en_US
dc.title Estimation of the electron beam-induced specimen heating and the emitted X-rays spatial resolution by Kossel microdiffraction in a scanning electron microscope en_US
ensam.hal.id hal-00951877 *
ensam.hal.status accept *
dc.identifier.doi 10.1016/j.ultramic.2012.01.018
dc.typdoc Articles dans des revues avec comité de lecture en_US
dc.localisation Centre de Metz en_US
dc.subject.hal Sciences de l'ingénieur: Matériaux en_US
dc.subject.hal Sciences de l'ingénieur: Micro et nanotechnologies/Microélectronique en_US
ensam.workflow.submissionConsumer updateFiles *
ensam.audience Internationale en_US
ensam.page 115-119 en_US
ensam.journal Ultramicroscopy en_US
ensam.volume 115 en_US

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