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Application d'une nouvelle conception d'architecture à une machine de mesure de résolution nanométrique Application of a new architecture design to a measuring machine with a nanometric resolution

Article dans une revue avec comité de lecture
Auteur
LAHOUSSE, Ludovic
107490 Laboratoire de Métrologie et de Mathématiques Appliquées [L2MA]
DAVID, Jean-Marie
107490 Laboratoire de Métrologie et de Mathématiques Appliquées [L2MA]
LELEU, Stéphane
107490 Laboratoire de Métrologie et de Mathématiques Appliquées [L2MA]
VAILLEAU, Georges-Pierre
DUCOURTIEUX, Sébastien

URI
http://hdl.handle.net/10985/7741
Date
2005
Journal
Revue française de métrologie

Résumé

The purpose of this paper is to present original concepts offering an uncertainty control advancement for measuring machines. Those concepts were developed from the analysis of phenomena that reduce the machine accuracy constructed around principles of standard architecture. A machine being developed is a concrete materialization of those concepts.

Fichier(s) constituant cette publication

Nom:
LSIS_RFM_2005_LAHOUSSE.pdf
Taille:
804.1Ko
Format:
PDF
Description:
Article
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