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Voici les éléments 1-2 de 2
Improvement of temperature homogeneity of a silicon wafer heated in a rapid thermal system (RTP: Rapid Thermal Process) by a filtering window
Article dans une revue avec comité de lecture
(Elsevier, 2015)
Influence of the window thermal diffusivity on the silicon wafer temperature in a rapid thermal system
Article dans une revue avec comité de lecture
(Taylor & Francis, 2015)