Recherche
Voici les éléments 1-2 de 2
Wafer-scale fabrication of self-actuated piezoelectric nanoelectromechanical resonators based on lead zirconate titanate (PZT)
Article dans une revue avec comité de lecture
(IOP Publishing, 2015)
Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators
Communication avec acte
(2013)