Caractérisation thermique d’une couche mince de Ge2Sb2Te5 en fonction de la température dans une expérience pompe-sonde résolue en temps

Abstract

Les PCM (Phase Change Memory) développés par l’industrie microélectronique utilisent des verres chalcogénures des systèmes Ge-Sb-Te pour assurer le stockage de données informatiques par changement de structures cristallines. Il est fondamental, afin de maîtriser ces phénomènes de changement de phase pour le stockage des données, de connaître les propriétés thermiques de ces matériaux. On mesure ainsi l'effusivité thermique de couche mince de 210 nm d'épaisseur sur une plage de température de 25°C à 250°C. Les mesures sont réalisées par thermo-réflectométrie résolue en temps. On étudie ainsi la réponse d'un échantillon à une impulsion de 100 fs sur une durée de 6 ns. L’estimation des propriétés thermiques se fait en utilisant un modèle basé sur la loi de Fourier.