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Mesures des propriétés thermiques d’un dépôt submicrométrique d’Al2O3 amorphe déposé par ALD

Communication avec acte
Author
SCHICK, Vincent
164351 Institut de Mécanique et d'Ingénierie de Bordeaux [I2M]
CAPPELLA, Andrea
BATTAGLIA, Jean-Luc
164351 Institut de Mécanique et d'Ingénierie de Bordeaux [I2M]
KUSIAK, Andrzej
164351 Institut de Mécanique et d'Ingénierie de Bordeaux [I2M]
WIEMER, Claudia
LAMAGNA, Luca

URI
http://hdl.handle.net/10985/6620
Date
2012

Abstract

L’oxyde d’aluminium Al2O3 amorphe, est un bon isolant thermique et électrique. L’industrie microélectronique s’intéresse à ce matériau pour développer de nouveaux diélectriques de haute pureté aux échelles submicrométriques. Elle cherche ainsi à déterminer précisément ses propriétés thermiques sur une large plage de température. Des mesures de conductivité sont donc réalisées ici sur des échantillons d’Al2O3 déposé par ALD de 150 à 400 nm d’épaisseur. Ces essais sont réalisés entre 20 et 600°C et sont complétés par des caractérisations physico-chimiques afin de vérifier l’évolution de la structure du matériau au cour de l’expérience.

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Name:
I2M_062012_KUSIAK.pdf
Size:
2.125Mb
Format:
PDF
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