Application d'une nouvelle conception d'architecture à une machine de mesure de résolution nanométrique Application of a new architecture design to a measuring machine with a nanometric resolution
Article dans une revue avec comité de lecture
Author
LAHOUSSE, LudovicDAVID, Jean-MarieLELEU, StéphaneVAILLEAU, Georges-PierreDUCOURTIEUX, SébastienAbstract
The purpose of this paper is to present original concepts offering an uncertainty control advancement for measuring machines. Those concepts were developed from the analysis of phenomena that reduce the machine accuracy constructed around principles of standard architecture. A machine being developed is a concrete materialization of those concepts.
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