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PZT Nanofilm-Based Wafer Scale Nanoresonators
Communication avec acte
(IEEE, 2015)
Wafer-scale fabrication of self-actuated piezoelectric nanoelectromechanical resonators based on lead zirconate titanate (PZT)
Article dans une revue avec comité de lecture
(IOP Publishing, 2015)
Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators
Communication avec acte
(2013)