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Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators
Communication avec acte
(2013)
Wafer-scale fabrication of self-actuated piezoelectric nanoelectromechanical resonators based on lead zirconate titanate (PZT)
Article dans une revue avec comité de lecture
; 
THOMAS, Olivier; ; ; ; ; ; ; (IOP Publishing, 2015)
PZT Nanofilm-Based Wafer Scale Nanoresonators
Communication avec acte
; ; ; ; ; THOMAS, Olivier; (IEEE, 2015)